회사소개

EVS

주요사업

Vacuum lon Pump & Controller

Sputter Ion Pump

진공이온펌프는 활성도 높은 Cathode 물질의 피막을 형성함으로서 진공용기 내부의 기체분자를 흡착시킴으로서 배기하는 장치이다. 이러한 진공이온펌프는 초고진공을 필요로 하는 거대시설인 가속기에 필수적인 장비이며, 더불어 극초고진공을 요구하는 표면분석, 전자현미경, 나노과학을 실현시킬 수 있는 장비이다.
lon Pump 작동 원리 및 구조

lon Pump 배기속도

lon Pump 모델별사양
Model Pumping
Speed(l/s)		 Operating
Pressure(Torr)		 Inlet Flange
(Inlet Size CF) (Inch)		 Extemal Dimension
(WxDxH) (mm)		 Weight
(kg)
IP2 2 Low 10-3
~ Low 10-10		 1.33 45x45x100 1
IP5 5 2.75 116x119x120 3
IP10 10 2.75 102x105x213 6
IP20 20 2.75 216x110x150 7
IP30 30 Low 10-3
~ High 10-12		 2.75 214x121x198 13
IP60 60 6 321x138x238 17
IP80 80 6 338x115x287 22
IP120 120 8 433x234x282 34
IP180 180 8 433x234x354 47
IP240 240 8 433x234x425 60
IP360 360 8 433x273x446 71
IP480 480 8 433x367x425 92
IP600 600 8 433x367x496 105
  • Ion Pump 5L
  • Ion Pump 20L/S
  • Ion Pump 30L/S
  • Ion Pump 60L/S
  • Ion Pump 80L/S
  • Ion Pump 180L/S
  • Ion Pump 360L/S
  • Ion Pump 600L/S
※Pumping Speed는 한국표준과학연구원에서 60L/S 모듈을 기준으로 공인인증을 획득하였습니다.

Ion Pump Controller

Ion Pump Controller 특징
  • Ion Pump Controller는 Ion Pump를 동작시킬수 있는High Voltage Power Supply이며, 전면의 표시된 판넬에서 전압, 전류, 진공도를 확인 할 수 있는 컨트롤러이다.
    사용자의 편의성을 고려하여 Setpoint, Remote Control, Computer Interface 등의 기능이 내장되어 있다.
  • LED Display : 진공도, 전류, 전압, 파라네타값 표시
  • 과전류 보호회로 내장
  • 과열 보호회로 내장
  • Setpoint Setting (Reply, TTL)
Ion Pump Controller 모델별 사양
  IPCM50 IPC100 IPC100D IPC100T IPC300 IPC300D
Output Voltage ±5000Vdc ±5000Vdc ±5000Vdc ±5000Vdc ±5000Vdc ±5000Vdc, ±7000Vdc
Output Max Current 50mA 100mA 100mA 100mA 300mA 300mA
Display Alpha-Numeric LED Displays
Output Ch. 1Ch 1Ch 2Ch 3Ch 1Ch 2Ch
Indicating Vacuum Range 1.0E-10
Size (WxHxD,mm) 110x133x380 220x133x380 430x155x470 430x155x470 220x133x380 430x155x470
Accossible Pump Range 2~120L/S, Max 20~240L/S, Max 20~270L/S, Max
Communication RS-232C / RS422

High Voltage Cable (사용자의 편의에 따라 케이블 길이는 조절 가능함)
Model C-03 C-05 C-10 C-15 C-20 C-25 C-30 C-50
Voltage Rating 10Kvdc
Length(m) 3m 5m 10m 15m 20m 25m 30m 50m
Operating Temp. -70°C to 200°C

Vacuum Component

진공 사업 내용

  • 저,고진공 및 초고진공 챔버 제작 및 시스템 구축
  • 각종 진공용 부품 제작
  • 진공설비 설계, 제작 및 진공작업
  • 진공용 설비 및 부품 오버홀
  • 가공머신 장비 및 진공열처리 장비 보유

  • PBPM Pick Up Module저장링 빔 위치변화 측정 장치

  • Safety Shutter방사광 방지용 안전 차단장치

  • Screen Monitor전자 빔의 횡방향 사이즈정보 측정

  • 전자 현미경 Chamber극 소형 입자 현미경 측정 장치

  • UHV Sample Preparation Station샘플 셋팅용 초고진공 챔버 시스템

  • Pumping Speed 측정 Chamber진공도 측정용 챔버

  • UHV Sample Transfer Buffer System저장링 빔 위치변화 측정 장치

  • UHV Chamber초고진공용 챔버

Component
  • Pump
  • Valve
  • Zerolength
  • Viewport
  • Gauge
  • Spool
  • Flange
  • Feedthru
  • Bellows
  • Reducer
  • Blank
  • 그 외 진공용 Component 일체

시설·장비 보유현황

History

EVS

인증현황

  • 특허증 제10-1066143호
    이온 펌프의 포트부 및 이를 포함하는
    이온 펌프

  • 특허증 제10-1134308호
    표면처리된 영구자석을 구비한
    이온 펌프

  • 특허증 제10-2240031호
    이중 플랜지 구조의 스풀을 구비한
    이온 펌프

  • 벤처기업확인서

  • ISO9001 인증서

오시는 길

  • ■ 본사
    경북 포항시 경북 포항시 남구 연일읍 동문로 94번길 8-7